无油真空泵工作压强要求与配置

无油真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

无油真空泵的工作压强应该满足真空设备的Ji限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的Ji限真空度Zhi少要2mmHg，Zui好能达到1mmHg。通常选择泵的Ji限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

无油真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到Ji高真空有一个很大的范围，Zhi今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到Zui佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

1.每种泵都有一定的工作压力范围。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

2.真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

3.真空泵的Ji限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的Ji限压力低于工艺要求约一个数量级。